Código de temperatura elevada
Disponível para fabricação sob medida em preto, branco e azul
| Código de temperatura elevada | Bestfluor® 3575 | |
| Dureza | 75~90 | |
| Faixa de temperatura | -15°C ~ +350°C | |
| O Bestfluor® 3575 é um selante perfluoroelastômero (FFKM) de baixa compressão e cor preta, concebido para ambientes de processo semicondutor secos e úmidos. Possui excelente resistência química, boas propriedades mecânicas e excelente estabilidade térmica, com baixa perda de peso em plasmas reativos e boa resistência ao ciclo térmico. Não recomendado para ambientes com aminas. Disponibiliza-se como opção pós-limpeza ultra-pura e embalagem limpa. | ||
Área de Aplicação
- Processos Secos de Semiconductores ：Válvulas para tratamento de plasma, equipamentos de gravação, deposição
- Ultrapure Fluid Systems ：Vedações para tubulações que transportam água de alta pureza, oxidantes e solventes orgânicos, ácidos fortes.
- Vedação a Alta Temperatura ：Anéis de O e juntas projetadas sob medida para uso em temperaturas elevadas e ciclos térmicos em ferramentas de produção de semicondutores
- Processos úmidos de semicondutores ：Selas aplicadas para limpeza, gravação, desprendimento de fotoresistente e entrega de produtos químicos de alta pureza
Características
1. Propriedades físicas fundamentais
- Cor: Preto; Dureza Shore A: 75; Dureza Shore M: 83
- Resistência à tração: 16,88 MPa; Aumento na ruptura: 150%
- Temperatura máxima de serviço contínua: 316°C, exposição a temperaturas mais elevadas por períodos curtos de tempo foi permitida
- Conjunto de compressão: 25% a 204°C/70h; permanece baixo (45%) mesmo a 300°C
2. Vantagens específicas para semicondutores
- Baixa perda de peso no plasma reativo, mínima contaminação de partículas
- Excelente resistência a compostos semicondutores: Piranha, SC-1/SC-2, HF, H₂SO₄, HNO₃, NMP, etc., com inchação extremamente baixa em volume
- Desempenho estável sob ciclos térmicos para vedação de longa duração
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