Hochtemperatur-Code
Erhältlich für Sonderanfertigungen in Schwarz, Weiß und Blau
| Hochtemperatur-Code | Bestfluor® 3575 | |
| Härte | 75~90 | |
| Temperaturbereich | -15 °C bis +350 °C | |
| Bestfluor® 3575 ist ein schwarzes Perfluorelastomer (FFKM) mit geringem Druckverformungsrest, das für trockene und nasse Halbleiterprozessumgebungen entwickelt wurde. Es zeichnet sich durch eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit, gute mechanische Eigenschaften und eine hervorragende thermische Stabilität aus, mit geringem Gewichtsverlust in reaktiven Plasmen und guter Beständigkeit gegen Temperaturwechsel. Nicht empfohlen für Aminumgebungen. Ultrareine Nachreinigung und saubere Verpackung sind als Optionen erhältlich. | ||
Anwendungsbereich
- Halbleiter-Trockenprozesse ：Dichtungen für Plasmabehandlung, Ätzanlagen, Beschichtung
- Reinstwassersysteme ：Dichtungen für Rohrleitungen zur Förderung von Reinstwasser, Oxidationsmitteln und organischen Lösungsmitteln sowie starken Säuren.
- Hochtemperaturabdichtung ：O-Ringe und kundenspezifisch entwickelte Dichtungen für Hochtemperaturanwendungen und thermische Wechsellast in Halbleiterproduktionsanlagen
- Halbleiter-Nassprozesse ：Dichtungen, die bei der Reinigung, beim Ätzen, beim Entfernen von Fotolack und bei der Zufuhr hochreiner Chemikalien eingesetzt werden
Eigenschaften
1. Wichtigste physikalische Eigenschaften
- Farbe: Schwarz; Shore-A-Härte: 75; Shore-M-Härte: 83
- Zugfestigkeit: 16,88 MPa; Bruchdehnung: 150%
- Maximal zulässige Dauereinsatztemperatur: 316 °C, kurzfristige Einwirkung höherer Temperaturen zulässig
- Druckverformungsrest: 25% bei 204 °C/70 h; bleibt auch bei 300 °C gering (45%)
2. Halbleiterspezifische Vorteile
- Geringer Gewichtsverlust in reaktivem Plasma, minimale Partikelkontamination
- Hervorragende Beständigkeit gegen Halbleiter-Chemikalien: Piranha, SC-1/SC-2, HF, H₂SO₄, HNO₃, NMP usw., bei extrem geringem Volumenschwellen
- Stabile Leistung unter Temperaturwechselbeanspruchung für eine langfristige Abdichtung
Kommentare sind deaktiviert