Código de temperatura alta
Disponible para fabricación personalizada en color negro, blanco y azul
| Código de temperatura alta | Bestfluor® 3575 | |
| Dureza | 75~90 | |
| Rango de temperatura | -15°C ~ +350°C | |
| Bestfluor® 3575 es un perfluoroelastómero (FFKM) de compresión baja y color negro, diseñado para entornos de proceso semiconductores secos y húmedos. Cuenta con una excelente resistencia química, buenas propiedades mecánicas y una estabilidad térmica excepcional, con una baja pérdida de peso en plasmas reactivos y una buena resistencia al ciclo térmico. No se recomienda para entornos con aminas. Se ofrecen como opciones un ultra puro post-limpieza y un embalaje limpio. | ||
Ámbito de aplicación
- Procesos secos de semiconductores ：Sellos para tratamiento con plasma, equipo de grabado, deposición
- Ultrapure Fluid Systems ：Sellos para tuberías que transportan agua de alta pureza, oxidantes y disolventes orgánicos, ácidos fuertes.
- Sellado a alta temperatura ：Relleno de O-rings y juntas diseñadas a medida para un uso a altas temperaturas y ciclos térmicos en herramientas de producción de semiconductores
- Procesos húmedos de semiconductores ：Sellos aplicados en procesos de limpieza, grabado, desprendimiento de fotomuestras y suministro de productos químicos de alta pureza
Características
1. Propiedades físicas clave
- Color: Negro; Dureza de la escala Shore A: 75; Dureza de la escala Shore M: 83
- Resistencia a la tracción: 16,88 MPa; Alargamiento a la ruptura: 150%
- Temperatura de servicio continua máxima: 316°C, exposición a temperaturas más altas a corto plazo permitida
- Conjunto de compresión: 25% a 204 °C/70 h; permanece bajo (45%) incluso a 300 °C
2. Ventajas específicas para los semiconductores
- Baixa pérdida de peso En el plasma reactivo, la contaminación de partículas es mínima
- Excelente resistencia a las sustancias químicas semiconductoras: Piranha, SC-1/SC-2, HF, H₂SO₄, HNO₃, NMP, etc., con hinchamiento en volumen extremadamente bajo
- Prestaciones estables bajo ciclos térmicos para una sellado a largo plazo
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