Código de temperatura elevada
Disponível para fabricação sob medida em preto, branco e azul
| Código de temperatura elevada | Bestfluor® 3275 | |
| Dureza | 75~90 | |
| Faixa de temperatura | -15°C ~ +315°C | |
| O Bestfluor® 3275 é um conjunto de perfluoroelastomer (FFKM) de baixa compressão e cor preta, concebido para ambientes de processo de semicondutores secos e úmidos. Possui excelente resistência química, boas propriedades mecânicas e excelente estabilidade térmica, com baixa perda de peso em plasmas reativos e boa resistência ao ciclo térmico. Não recomendado para ambientes com aminas. Disponibiliza-se como opção pós-limpeza ultrassensível e embalagem limpa. | ||
Área de Aplicação
- Processos de secagem de semicondutores: Tampas para processos de plasma, deposição e equipamento de gravação
- Processos úmidos em semicondutoresSelas para limpeza, gravação, descarregamento de fotoresist e entrega de produtos químicos de alta pureza
- Sistemas de fluidos ultra-purosVedações para linhas de água de alta pureza, ácidos fortes, oxidantes e solventes orgânicos
- Vedação a alta temperatura: Rosques e selos personalizados para temperaturas elevadas e ciclos térmicos em ferramentas para semicondutores
Características
1. Propriedades físicas fundamentais
- Cor: preta, branca e azul; Dureza Shore A: 75~90
- Resistência à tração: 16,88 MPa; Aumento na ruptura: 150%
- Temperatura máxima de serviço contínua: 315°C, exposição a temperaturas mais elevadas por períodos curtos de tempo foi permitida
- Conjunto de compressão: 25% a 204°C/70h; permanece baixo (45%) mesmo a 300°C
2. Vantagens específicas para semicondutores
- Baixa perda de peso no plasma reativo, mínima contaminação de partículas
- Excelente resistência a compostos semicondutores: Piranha, SC-1/SC-2, HF, H₂SO₄, HNO₃, NMP, etc., com inchação extremamente baixa em volume
- Desempenho estável sob ciclos térmicos para vedação de longa duração
Os comentários estão encerrados