Hochtemperatur-Code
Erhältlich für Sonderanfertigungen in Schwarz, Weiß und Blau
| Hochtemperatur-Code | Bestfluor® 3275 | |
| Härte | 75~90 | |
| Temperaturbereich | -15°C ~ +315°C | |
| Bestfluor® 3275 ist ein schwarzer Perfluorelastomer (FFKM) mit geringem Druckverformungsrest, der für trockene und nasschemische Halbleiterprozessumgebungen entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit, gute mechanische Eigenschaften und eine hervorragende thermische Stabilität aus, bei geringem Gewichtsverlust in reaktiven Plasmen und guter Beständigkeit gegen Temperaturwechsel. Nicht empfohlen für Aminumgebungen. Reinst-Nachreinigung und Reinraumverpackung sind als Optionen erhältlich. | ||
Anwendungsbereich
- Halbleiter-TrockenprozesseDichtungen für Plasmaprozesse, Abscheidungs- und Ätzanlagen
- Halbleiter-NassprozesseDichtungen für die Reinigung, Ätzung, Fotolackentfernung und die Zufuhr von Hochreinheitschemikalien
- ReinstflüssigkeitssystemeDichtungen für Leitungen für hochreines Wasser, starke Säuren, Oxidationsmittel und organische Lösungsmittel
- HochtemperaturdichtungO-Ringe und kundenspezifische Dichtungen für Hochtemperatur- und Thermoschockanwendungen in Halbleiteranlagen
Eigenschaften
1. Wichtigste physikalische Eigenschaften
- Farbe: Schwarz, Weiß und Blau; Shore-A-Härte: 75~90
- Zugfestigkeit: 16,88 MPa; Bruchdehnung: 150%
- Maximal zulässige Dauereinsatztemperatur: 315 °C, kurzfristige Einwirkung höherer Temperaturen zulässig
- Druckverformungsrest: 25% bei 204 °C/70 h; bleibt auch bei 300 °C gering (45%)
2. Halbleiterspezifische Vorteile
- Geringer Gewichtsverlust in reaktivem Plasma, minimale Partikelkontamination
- Hervorragende Beständigkeit gegen Halbleiter-Chemikalien: Piranha, SC-1/SC-2, HF, H₂SO₄, HNO₃, NMP usw., bei extrem geringem Volumenschwellen
- Stabile Leistung unter Temperaturwechselbeanspruchung für eine langfristige Abdichtung
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