Código de temperatura alta
Disponible para fabricación personalizada en color negro, blanco y azul
| Código de temperatura alta | Bestfluor® 3275 | |
| Dureza | 75~90 | |
| Rango de temperatura | -15°C ~ +315°C | |
| Bestfluor® 3275 es un perfluoroelastómero (FFKM) de compresión baja y color negro diseñado para entornos de proceso de semiconductores secos y húmedos. Cuenta con una excelente resistencia química, buenas propiedades mecánicas y una estabilidad térmica excepcional, con una baja pérdida de peso en plasmas reactivos y una buena resistencia al ciclo térmico. No se recomienda para entornos con aminas. Se ofrecen como opciones un post-limpieza ultratransparente y un embalaje limpio. | ||
Ámbito de aplicación
- Procesos secos de semiconductoresSellos para procesos de plasma, deposición y equipos de grabado
- Procesos húmedos de semiconductoresSellos para la limpieza, el grabado, la despegue de fotomuestras y el suministro de productos químicos de alta pureza
- Sistemas de fluidos ultrapurosSellos para líneas de agua de alta pureza, ácidos fuertes, oxidantes y disolventes orgánicos
- Sellado a altas temperaturasRelleneos y sellos personalizados para temperaturas altas y ciclos térmicos en herramientas semiconductoras
Características
1. Propiedades físicas clave
- Color: negro, blanco y azul; Dureza de la superficie A: 75~90
- Resistencia a la tracción: 16,88 MPa; Alargamiento a la ruptura: 150%
- Temperatura de servicio continua máxima: 315°C, exposición a temperaturas más altas a corto plazo permitida
- Conjunto de compresión: 25% a 204 °C/70 h; permanece bajo (45%) incluso a 300 °C
2. Ventajas específicas para los semiconductores
- Baixa pérdida de peso En el plasma reactivo, la contaminación de partículas es mínima
- Excelente resistencia a las sustancias químicas semiconductoras: Piranha, SC-1/SC-2, HF, H₂SO₄, HNO₃, NMP, etc., con hinchamiento en volumen extremadamente bajo
- Prestaciones estables bajo ciclos térmicos para una sellado a largo plazo
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