{"id":2548,"date":"2026-06-01T09:14:59","date_gmt":"2026-06-01T01:14:59","guid":{"rendered":"http:\/\/walleglobal.com\/?post_type=products&p=2548"},"modified":"2026-07-01T17:41:29","modified_gmt":"2026-07-01T09:41:29","slug":"bestfluor-3275","status":"publish","type":"products","link":"https:\/\/walleglobal.com\/de\/products\/bestfluor-3275\/","title":{"rendered":"Bestfluor 3275"},"content":{"rendered":"
<\/div>\n\n\n\n
\"\"<\/figure>
\n
<\/div>
\n
\n

Hochtemperatur-Code<\/h2>\n<\/div>\n\n\n\n
\r\n\r\n \r\n <\/path>\r\n <\/svg>\r\n Herunterladen\r\n<\/a>\r\n<\/div>\r\n\r\n
<\/div>
\n
\n

Erh\u00e4ltlich f\u00fcr Sonderanfertigungen in Schwarz, Wei\u00df und Blau<\/p>\n<\/div>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n

Hochtemperatur-Code<\/td>Bestfluor\u00ae 3275<\/td><\/tr>
H\u00e4rte<\/td>75~90<\/td><\/tr>
Temperaturbereich<\/td>-15\u00b0C ~ +315\u00b0C<\/td><\/tr>
Bestfluor\u00ae 3275 ist ein schwarzer Perfluorelastomer (FFKM) mit geringem Druckverformungsrest, der f\u00fcr trockene und nasschemische Halbleiterprozessumgebungen entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch eine ausgezeichnete chemische Best\u00e4ndigkeit, gute mechanische Eigenschaften und eine hervorragende thermische Stabilit\u00e4t aus, bei geringem Gewichtsverlust in reaktiven Plasmen und guter Best\u00e4ndigkeit gegen Temperaturwechsel. Nicht empfohlen f\u00fcr Aminumgebungen. Reinst-Nachreinigung und Reinraumverpackung sind als Optionen erh\u00e4ltlich.<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n
\n
Kontaktieren Sie uns<\/a><\/div>\n<\/div>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n
<\/div>
\n
\n
\n
Anwendungsbereich<\/strong><\/div>
\n
    \n
  • Halbleiter-Trockenprozesse<\/strong>Dichtungen f\u00fcr Plasmaprozesse, Abscheidungs- und \u00c4tzanlagen<\/li>\n\n\n\n
  • Halbleiter-Nassprozesse<\/strong>Dichtungen f\u00fcr die Reinigung, \u00c4tzung, Fotolackentfernung und die Zufuhr von Hochreinheitschemikalien<\/li>\n\n\n\n
  • Reinstfl\u00fcssigkeitssysteme<\/strong>Dichtungen f\u00fcr Leitungen f\u00fcr hochreines Wasser, starke S\u00e4uren, Oxidationsmittel und organische L\u00f6sungsmittel<\/li>\n\n\n\n
  • Hochtemperaturdichtung<\/strong>O-Ringe und kundenspezifische Dichtungen f\u00fcr Hochtemperatur- und Thermoschockanwendungen in Halbleiteranlagen<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n
    \n
    Eigenschaften<\/strong><\/strong><\/div>
    \n

    1. Wichtigste physikalische Eigenschaften<\/strong><\/strong><\/h3>\n\n\n\n
      \n
    • Farbe: Schwarz, Wei\u00df und Blau; Shore-A-H\u00e4rte: 75~90<\/li>\n\n\n\n
    • Zugfestigkeit: 16,88 MPa; Bruchdehnung: 150%<\/li>\n\n\n\n
    • Maximal zul\u00e4ssige Dauereinsatztemperatur: 315 \u00b0C<\/strong>, kurzfristige Einwirkung h\u00f6herer Temperaturen zul\u00e4ssig<\/li>\n\n\n\n
    • Druckverformungsrest: 25% bei 204 \u00b0C\/70 h; bleibt auch bei 300 \u00b0C gering (45%)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      2. Halbleiterspezifische Vorteile<\/strong><\/strong><\/h3>\n\n\n\n
        \n
      • Geringer Gewichtsverlust<\/strong> in reaktivem Plasma, minimale Partikelkontamination<\/li>\n\n\n\n
      • Hervorragende Best\u00e4ndigkeit gegen Halbleiter-Chemikalien: Piranha, SC-1\/SC-2, HF, H\u2082SO\u2084, HNO\u2083, NMP usw., bei extrem geringem Volumenschwellen<\/li>\n\n\n\n
      • Stabile Leistung unter Temperaturwechselbeanspruchung f\u00fcr eine langfristige Abdichtung<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div>\n<\/div><\/div>\n<\/div>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n
        \n\n\n\n
        <\/div>
        \n
        \n
        \n

        <\/p>

          <\/ul><\/div>\n
          \n
          \n<\/fieldset>\n
          \n\n
          \n
          \n